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CIAT

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德普瑞智能装备  发布于:2025-03-12   浏览次数:10

CIAT是专注于工业精密传动与智能定位系统的德国技术企业,成立于1978年,总部位于慕尼黑,致力于为半导体制造、航空航天及高端机床领域提供高精度直线电机、纳米级定位平台及定制化解决方案。产品以亚微米级定位精度、抗干扰能力与工业级寿命为核心优势,广泛应用于晶圆光刻机定位、航天器姿态校准及精密光学检测设备场景。

核心产品系列:  

工业精密传动系统  

- CIAT-Linear系列直线电机:适配半导体晶圆传输与激光切割设备,推力范围50-2000 N,定位精度±50 nm,重复定位精度±20 nm,支持闭环控制与动态补偿,通过ISO 230-2机床精度标准,防护等级IP65。  

- CIAT-Rotary系列空心杯电机:用于光学仪器旋转台与医疗设备驱动,转速0-5000 RPM,扭矩波动≤0.1%,惯性矩优化设计,通过MIL-STD-810G振动测试,支持真空环境(10^-6 Torr)运行。  

智能定位解决方案  

- CIAT-Stage系列纳米定位平台:集成六自由度运动控制,行程范围50-500 mm,定位分辨率0.1 nm,热漂移率≤0.1 μm/°C,配备激光干涉仪实时反馈,通过SEMATECH半导体设备认证。  

- CIAT-Controller系列运动控制卡:支持多轴同步插补与自适应PID算法,采样频率1 MHz,兼容EtherCAT/PROFINET协议,通过CE/FCC电磁兼容认证,提供LabVIEW/Python开发接口。  

热销工业型号:  

- CIAT-Linear L8000:晶圆光刻机曝光台驱动电机,峰值加速度20g,动态响应时间≤1 ms,内置温度补偿模块,通过SEMI S2标准,防护等级IP67。  

- CIAT-Stage NS600:航天器光学组件校准平台,三维定位精度±100 nm,支持主动隔振(降噪≥60 dB),通过NASA Goddard振动测试,配备真空兼容密封结构。  

- CIAT-Controller C400:多轴纳米级运动控制器,支持16轴同步控制,插补误差≤0.1 μm,配备硬件级紧急制动功能,通过ISO 13849安全标准。  

技术优势:  

- 超低惯性设计:直线电机采用轻量化磁路结构,惯性降低40%,加速性能提升30%。  

- 多物理场耦合补偿:定位平台内置热-机械耦合模型,环境温度变化补偿精度达±0.01 μm。  

- 协议无缝集成:控制器支持OPC UA与MTConnect工业物联网协议,可对接MES/SCADA系统。  

应用领域:  

- 半导体制造:晶圆缺陷检测设备定位、光刻机曝光台驱动。  

- 航空航天:卫星光学镜头校准、火箭发动机喷嘴精密装配。  

- 精密检测:纳米级3D形貌测量仪、X射线衍射仪样品台。  

CIAT通过德普瑞商城提供全球化供应链服务,支持在线技术选型、定制化传动系统设计及48小时紧急交付,确保工业客户在高精度运动控制场景中快速部署纳米级定位与智能传动解决方案。

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