美国Malema 流量控制器 LFC-7002-21321-212-M16
LFC-7000系列高性能闭环流量控制器设计用于各种液体,包括去离子水,苛刻的化学品,和CMP抛光浆料。
用于高精度控制超纯化学品的典型模块将Malema超声波流量计与Malema控制阀结合在一起,其精度额定读数为 +/- 1%。超声波流量计有一个没有移动部件或密封全PFA结构。它为流量测量的准确性,可重复性和纯度设定了标准。其数字信号处理技术确保可靠的性能,即使在一定程度的气泡存在于过程流体。高速/精密电机驱动夹管阀 (用于浆料) 或隔膜阀 (用于化学品) 有助于提供快速和精确的响应,并具有最小的 “过冲”。它的所有PTFE (聚四氟乙烯) 结构和最小的死体积确保最大的过程纯度和可靠性 (化学模块)。